洁净室中的温湿度控制

洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高,粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产湿度范围为35—45%。

气压规定

对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。压力差的维持一般应符合以下原则：

1．洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。

2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。

压力差的维持依靠新风量，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄（或渗透）风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。

选址原则：无尘车间地址的选择应符合有利生产、方便生活、节省投资和经营费用的原则。厂址应设在自然环境和水质较好,大气含尘浓度较低,地形、地物、地貌造成的小气候有利于生产、节能的区域,应远离大量散发粉尘、烟雾、有毒害气体和微生物的区域,如机场、铁路、码头、交通要道等,并在污染源和全年主导风向的上风侧面,且有一定的防护距离。无尘车间与交通主干道间距宜50米以上 [1] 。

丝印无尘车间方案及技术难题

丝印，一般即指丝网印刷。丝印由丝网印版、刮板、油墨、印刷台以及承印物五大要素构成，其中油墨和相关的溶剂都是化学品，容易挥发，且都属于易燃品。所以在丝印无尘车间设计时，一定要非常关注防火和排风问题。

整体上来说，丝印无尘车间与其他工业无尘车间的差异并不大，通过气流组织和尘埃控制，达到万级或者十万级即可。以气流--初效空气处理--空气调节--中效空气处理--风机加压送风--净化送风管道--送风口--带走尘土（）-- 回风夹道--新风、初效空气处理为净化工作原理，以十万级为例，换气次数为10—15次每小时即可，相对湿度控制为45%到65%，新风补偿量占据总送风量的20%到30%，照度大于300LUX。

按照以上净化标准进行设计，即可达到丝印无尘车间的净化要求。实则不然，丝印无尘车间有其非常明显的特点，除此之外，关键在于排风。