通过使用微光在微小区域中测量反射率，可以进行高精度的膜厚和光学常数分析的设备。

诸如各种膜，晶片，光学材料和多层膜之类的涂膜的厚度可以无损且非接触地测量。1秒/点的高速测量是可能的。它还配备了软件，即使是初学者也可以轻松分析光学常数

特殊长度

薄膜厚度测量所需的功能集成在头部

使用微光（多层膜厚度，光学常数）进行高精度的反射率测量

1点1秒以内的高速测量

在微观条件下（紫外到近红外）实现宽测量波长范围的光学系统

区域传感器的机制

简单的分析向导，即使是初学者也可以分析光学常数

配有宏功能，可让您自定义测量序列

可以分析复杂的光学常数（多点分析方法）

兼容300mm载物台

支持各种自定义

技术指标

类型OPTM-A1OPTM-A2OPTM-A3波长范围230-800纳米360-1100纳米900-1600纳米膜厚范围* 11 nm至35μm7 nm至49μm16 nm至92μm样本数量* 2多200 x 200 x 17毫米光斑直径φ5，φ10，φ20，φ40

*以上规格为自动XY工作台。

* 1膜厚范围转换为SiO2。

* 2请与我们联系以获取300 mm位移台。

类型自动XY载物台类型固定框类型内置头型尺寸

（宽x深x高）556 x 566 x 618毫米368 x 468 x 491毫米210 x 441 x 474毫米

90 x 250 x 190毫米*重量66公斤38公斤23公斤

4公斤*耗电量AC100V±10V 500VAAC100V±10V 400VA

* AC / DC电源单元