在整个集成电子无尘车间中,电路的尺寸技术可以说是促进净化的关键点。电子无尘车间的制备方法越先进,芯片尺寸越小。然而,电子无尘车间电路上的颗粒物粒径小约1%~2%,在电子无尘车间中会成为废品,因为金属及类似是电子无尘车间的废品问题之一。
在整个集成电子无尘车间中,电路的尺寸技术可以说是促进净化的关键点。电子无尘车间的制备方法越先进,芯片尺寸越小。然而,电子无尘车间电路上的颗粒物粒径小约1%~2%,在电子无尘车间中会成为废品,因为金属及类似是电子无尘车间的废品问题之一。
为达到洁净水平,无尘车间的设置需要采取综合措施,包括工艺布置、建筑平面、建筑结构、空气净化措施、维护管理等,其中空气净化措施是达到洁净水平的根本保证。
首先,要选择符合自身需求的无尘车间地面材料。常见的无尘车间地面,分为涂布型地面、粘贴性地面、水磨石地面、金属隔栅通风地面等。涂布型无尘车间地面,按照材料的不同,又分为聚氨酯涂料、环氧树脂和聚酯树脂砂浆。这种无尘车间地面,附着力强,易施工,弹性好,耐水、耐腐蚀。