一般要经过初效过滤、中效过滤、过滤等三个过滤段，气流→初效净化→加湿段→加热段→表热段→表冷段→中效净化→风机送风→管道→净化风口→吹入房间带走尘埃等颗粒→回风百叶窗→初效净化重复以上过程，即可达到净化目的。

将已铺有营养琼脂培养基的培养皿放在指定区域距地面约1米的规定处(一般每10平方米放置一个平皿)，在空气中暴露30分钟，采集沉降菌，盖好平皿盖儿，置30-35℃培养箱内培养48小时，取出计数，车间内应为操作状态。检测沉降菌数量，每碟小于或等于10个，便能达到10万级净化车间标准。

风系统：新风经洗净，初过滤，中过滤与回风混合后进人空凋器，空凋器按洁净车间的热、湿负荷需求处理约20％的循环风量，空调器出风与经循环风机箱的回风再次混合至出风温度，回风经洁净室专用回风地板，通过1.5米深的回风层，回至空调器/循环风机箱。

水系统：由新设的二次泵将二次冷水在空调器、冷水槽之间循环。

冷热水系统设置三通阀根据回水温度感知洁净车间的负荷变化，为系统提供适合的冷热量。

过滤系统(包括、中效、初效过滤器)设置压差控制装置以便适时更换阻力过大的过滤装置。

蒸汽加湿器设置控制系统，根据洁净车间的湿度变化控制进入加湿器蒸汽量。

系统连锁控制：基本控制是当风机停止时，所有的水阀、风阀随即关闭。