和工作区高度的水平面各一个,剖面上的测点间距为0.2m~0.5m,水平面上测点间距为0.5m~1m。两个风口之间的中线上应有测点。 2:测定方法:用发烟器或悬挂单丝线的方法逐点观察和记录气流流向,并可用量角器量出角度,发烟源可用超声波雾化(0.5um~50um水雾)的去离子(DI)水、喷射方法生成的乙醇或二醇、固态二氧化碳(干冰)等,在高强度光源下示踪。在确保对人和物无伤害时可以四氯化钛(TiCl4)作示踪粒子。
所有的无尘车间测试基本上都是基于国际认可的标准(如ISO14644-1;IEST-RP-CC006.2;NEBB手册和已被终止的FS-209E)。这些标准和惯例对无尘车间的测试和认证提供了基本的指导。而事实上,无尘车间的业主和承建商因产品,工艺的要求而对无尘车间的技术指标,测试方式和验收标准有相对于上述标准不同的协议。
背压补偿模式测试:为了使测得风量值更接近于风量的真实值,减小由于风量罩对系统造成压损而产生的测试误差。建议在风量大于1500 m/h时采用背压补偿模式测试, 1)当测试模式为“B.Press”时,按下“START”键仪器开始测量,风量稳定后测试自动停止。 2)界面提示“打开背压板”,手动把背压板打开后,按下“START”键,仪器开始测试。 3)测试结束后仪器自动停止,显示经过背压补偿后的风量值。 4)若对停止时的风量进行保存,可以按“SAVE”键将本次测得风量值保存,“Cycle”自动加1。
无尘车间不同级别空气洁净度的空气过滤器的选用、布置要点:对于300000级空气净化处理,可采用亚过滤器代替过滤器;空气洁净度100级、10000级及100000级的空气净化处理,应采用初、中、过滤器三级过滤器;中效或空气过滤器宜按小于或等于额定风量选用;中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节的正压段;或亚空气过滤器宜设置在净化空气调节系统的末端。